功率半导体分立器件产业及标准化白皮书

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功率半导体分立器件产业及标准化白皮书
目录
1 前言........................................................................................................1
2 功率半导体分立器件概述................................................................... 3
2.1 功率半导体分立器件的概念.....................................................3
2.2 功率半导体分立器件的分类.....................................................4
2.3 功率半导体分立器件的应用.....................................................7
2.4 功率半导体分立器件关键工艺.................................................8
2.4.1 外延工艺技术................................................................... 8
2.4.2 光刻工艺技术................................................................... 9
2.4.3 刻蚀工艺技术................................................................... 9
2.4.4 离子注入工艺技术...........................................................9
2.4.5 扩散工艺技术................................................................. 10
2.5 功率半导体分立器件...............................................................10
2.5.1 功率二极管..................................................................... 10
2.5.2 晶闸管............................................................................. 11
2.5.3 晶体管............................................................................. 11
2.5.4 功率半导体分立器件模块.............................................14
2.5.5 宽禁带功率半导体器件.................................................14
3 功率半导体分立器件发展现状及发展趋势.....................................17
3.1 功率半导体分立器件发展现状...............................................17
3.1.1 全球产业发展现状.........................................................17
3.1.2 国内产业发展现状.........................................................19